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在特定光源輻照下，紫外光和雙氧水起到耦合作用，有機物被紫外激發出的羥基自由基持續分解。一部分有機物在紫外光催化作用下被斷鏈或分子量進一步減小，變為小分子物質，小分子物質在強紫外光作用下進一步礦化，最終COD達標排放。